据国外媒体报道,知名半导体设备供应商阿斯麦公司公布的数据显示,其在今年二季度共出货48台光刻机,与一季度持平,但不及去年同期。
阿斯麦的数据显示,其在今年二季度发出的光刻机中,有41台是新生产的,7台则是翻新的,合计48台,而在今年一季度,其也是发出了48台光刻机,有43台是新生产的,余下5台则是翻新的。
虽然阿斯麦光刻机在今年二季度的出货量与一季度持平,但与去年同期相比,其光刻机的出货量还是有明显下滑,其光刻机在去年二季度共出货58台,今年一季度的48台较之是下滑了17%。
从阿斯麦所公布的数据来看,今年二季度其最先进的极紫外光刻机的出货量与去年同期持平,同为7台,较今年一季度的4台有增加。
其他光源的光刻机中,ArF光源的浸润式光刻机二季度出货13台,低于去年同期的19台,也不及今年一季度的17台;ArF光源的干科技出货3台,今年一季度为4台,去年二季度为5台。
KrF光源的光刻机在一季度出货19台,较一季度的14台增加了5台,与去年同期的19台持平。
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