设置
  • 日夜间
    随系统
    浅色
    深色
  • 主题色

新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重复定位精度 0.02mm

2024/8/25 9:38:52 来源:IT之家 作者:沛霖(实习) 责编:沛霖

IT之家 8 月 25 日消息,8 月 21 日~25 日,2024 世界机器人大会在北京举行,169 家企业展出 600 余件创新产品。

据介绍,真空机械手是芯片制造过程中,负责不同工位之间晶圆传输的关键设备,在尖端工艺制程中重复定位精度要求达到了 0.02mm,相当于一根头发丝直径的 1/5,该设备长期被国外企业垄断,是名副其实的“卡脖子”技术

▲ 新松 Centaur 真空机械手

新松公司自主攻克新一代真空机械手技术,并实现在中国最先进芯片制造工厂的批量应用。

新松 Centaur 真空机械手拥有领先的重复定位精度、碰撞保护以及 AWC 智能动态纠偏等功能,机械手采用双独立设计,两只手臂不受彼此影响独立进行取放片工作,相比传统机械手的传输效率大幅提升,可胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。

▲ 双臂具身智能抓取站

IT之家注意到,新松公司还展出了双臂具身智能抓取站、工业机器人 3D 视觉免示教系统、特种机器人等相关机器人产品 / 系统。

▲ 工业机器人 3D 视觉免示教系统

▲ 特种机器人产品

广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,IT之家所有文章均包含本声明。

相关文章

关键词:新松真空机械手晶圆

软媒旗下网站: IT之家 最会买 - 返利返现优惠券 iPhone之家 Win7之家 Win10之家 Win11之家

软媒旗下软件: 软媒手机APP应用 魔方 最会买 要知