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光刻胶巨头 JSR 韩国 EUV 用 MOR 光刻胶生产基地开建,预计 2026 年投产

2024/11/12 14:26:38 来源:IT之家 作者:溯波(实习) 责编:溯波

IT之家 11 月 12 日消息,据韩国产业通商资源部官网新闻稿,半导体光刻胶巨头日本 JSR 今日在韩国忠清北道清州举行 MOR(IT之家注:金属氧化物)光刻胶生产基地的奠基仪式。

该生产基地由 JSR 在韩子公司 JSR Micro Korea 建设,将生产可用于 EUV 光刻的 MOR 光刻胶,目标 2026 年建成投产。这也是韩国境内的首个同类光刻胶工厂

适用于 EUV 制程的 MOR 光刻胶能够替代低端化学放大光刻胶,在确保超精细工艺的竞争力方面发挥着关键作用。JSR Micro Korea 新工厂有望直接向韩国本土两大半导体制造巨头三星电子、SK 海力士供货,保证光刻胶供应稳定可靠。

JSR 在今年 8 月 30 日的相关新闻稿中还提到,该企业计划今年秋天起在日本关东地区建设一个新的 MOR 研发基地,作为日本三重县四日市现有精密电子开发中心的补充,以强化同全球客户与伙伴的交流合作。

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关键词:JSR光刻胶日本韩国EUV

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